AWL系列显微镜晶圆检查系统

兼具稳定性和安全性，能够安全可靠的传送晶圆，适合于前道到后道工程的晶圆检查。拥有AWL046、AWL068两种机型，分别可适用于4/6英寸晶圆检测，6/8英寸晶圆检测，适应范围广、搭配灵活。可自由设置的检查模式，充分符合人机工程学设计，操作舒适、简便。