MX6R金相显微镜(明场、暗场、斜照明、偏光、DIC)
MX6R金相显微镜(明场、暗场、斜照明、偏光、DIC)
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MX6R金相显微镜(明场、暗场、斜照明、偏光、DIC)

MX6R各项操作根据人机工程学设计,最大限度减轻操作者的使用疲劳。其模块化的部件设计,可对系统功能进行自由组合。涵盖明场、暗场、斜照明、偏光、DIC微分干涉等多种观察功能,可根据实际应用,进行功能选择。

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MX6R各项操作根据人机工程学设计,最大限度减轻操作者的使用疲劳。其模块化的部件设计,可对系统功能进行自由组合。涵盖明场、暗场、斜照明、偏光、DIC微分干涉等多种观察功能,可根据实际应用,进行功能选择。

宽视场铰链式三目观察筒


正像铰链三目观察筒,所成像的方位与物体实际方向相同,物体移动的方向跟像面移动的方向相同,便于观察与操作。

大行程移动平台设计

采用6寸平平台设计,行程158×158mm,可适用于对应尺寸的晶圆或FPD检测,也可用于小尺寸样品的阵列检测。

高精度物镜转换器

转换器采用精密轴承设计,转动手感轻巧舒适,重复定位精度高,物镜转换后的同心度也得到较好的控制。

高精度物镜转换器

安全、稳重的机架结构设计

工业检测级显微镜镜体,低重心、高刚性、高稳定性金属机架,保证了系统的抗震能力与成像稳定性。
其前置低手位粗微调同轴调焦机构,内置100-240V宽电压变压器,可适应不同地区的电网电压。底座内部设计有风循环散热系统,长时间使用也不会使机架过热。

技术参数

光学系统

无限远色差光学系统

观察方式

明场/暗场/偏光/DIC

观察筒

30°倾斜,正像,无限远铰链三通观察筒,瞳距调节:50-76mm,分光比100:0或0:100

30°倾斜,倒像,无限远铰链三通观察筒,瞳距调节:50-76mm,三档分光比0:100;20:80;100:0
5-35°倾角可调,正像,无限远铰链三通观察筒,瞳距调节:50-76mm,单边视度调节:±5屈光度,两档分光比100:0或0:100

目镜

高眼点大视野平场目镜PL10X/22mm,视度可调,可带侧微尺

高眼点大视野平场目镜PL10X/23mm,视度可调
高眼点大视野平场目镜PL10X/25mm,视度可调
高眼点大视野平场目镜PL10X/26.5mm,视度可调
高眼点大视野平场目镜PL15X/16mm

物镜

无限远长工作距平场明暗场消色差金相物镜5X-DIC、10-DICX、20X-DIC、50X、100X

明暗场半复消金相物镜5X、10X、20X、50X、100X

转换器

5孔内倾式明暗场转换器,带DIC插槽

调焦机构

反射式机架 , 前置低手位粗微同轴调焦机构。粗调行程 33mm, 微调精度 0.001mm. 带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置.内置 100-240V 宽电压系统 , 带光亮度设定暗扭与复位按扭

透、反射式机架 , 前置低手位粗微同轴调焦机构。粗调行程 33mm, 微调精度 0.001mm. 带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置.内置 100-240V 宽电压系统,5W暖色LED透射光照明系统,上下光独立可控

载物台

6英寸三层机械移动平台,低手位X、Y方向同轴调节;平台面积445mm×240mm,移动范围:158mm×158mm;带离合器手柄,可用于全行程范围内快速移动;玻璃载物台板(反射用)

6英寸三层机械移动平台,低手位X、Y方向同轴调节;平台面积445mm×240mm,反射照明移动范围:158mm×158mm;透射照明移动范围:100×100mm;带离合器手柄,可用于全行程范围内快速移动;玻璃载物台板(透、反射用)

照明系统

明暗场反射照明器 , 带可变孔径光阑,视场光阑 , 中心均可调 ;带明暗场照明切换装置 ;带滤色片插槽与偏光装置插槽

摄影摄像

0.35X/0.5X/0.65X/1X摄像接筒,C型接口,可调焦

其他

起偏镜插板,固定式检偏镜插板,360°旋转式检偏镜插板 ;反射用干涉滤色片组 ;高精度测微尺 ;DIC 微分干涉组件